✔Китайские производители оборудования для полировки кремниевых пластин добились прогресса в качестве технологического процесса - «Новости сети»
Прежде чем готовый полупроводниковый компонент попадёт в состав электронного устройства, ему необходимо пройти множество этапов изготовления. На одном из них кремниевая пластина, из которой в дальнейшем нарезаются чипы, проходит полировку. Китайским производителям удалось повысить качество этой операции благодаря внедрению измерительных систем в процесс полировки.
Источник изображения: ASML
Как сообщает South China Morning Post, ведущий китайский производитель оборудования для полировки кремниевых пластин Hwatsing Technology внедрил элемент обратной связи в виде контрольно-измерительного оборудования, которое используется на этапе полировки кремниевой пластины с сочетанием химического и механического воздействия. Впервые в китайской полупроводниковой промышленности контрольные замеры могут осуществляться прямо в процессе полировки пластины, ускоряя обработку и заметно повышая её качество. Правда, пока система предназначена лишь для обработки кремниевых пластин диаметром 150 мм, который в основном применяется в сегменте зрелой литографии и не подходит для изготовления самых передовых чипов.
По словам представителей компании, первые образцы подобного оборудования уже были отгружены некоему крупному китайскому поставщику материалов для работы с кремниевыми пластинами. Система найдёт применение при производстве разного рода датчиков и силовой электроники. Соответствующие компоненты применяются в электромобилях, роботах, потребительской электронике и инфраструктуре систем связи.
По оценкам Bernstein, китайские поставщики в прошлом году заняли примерно 21 % местного рынка оборудования для обработки кремниевых пластин. В сфере оборудования для полировки пластин доля китайских поставщиков достигла 39 %. Hwatsing контролирует около 85 % китайского рынка оборудования в своём сегменте. В мировых масштабах компания претендует на 37 % рынка, хотя ещё в 2018 году она занимала не более 1 %. Хотя в прошлом году местные поставщики контрольно-измерительного оборудования в сфере литографии на китайском рынке продемонстрировали рост выручки на 63 %, их доля не превышала 10 %. Непосредственно в сфере литографии китайские поставщики пока не могут предложить жизнеспособной альтернативы оборудованию ASML нидерландского производства, по словам экспертов Bernstein.
Источник:
