Крупнейший в мире независимый исследовательский центр — бельгийский imec — открыл на днях новую «чистую комнату» для освоения техпроцессов с нормами менее 7 нм. В «чистых комнатах» находится литографическое оборудование для переноса изображения с фотошаблонов на полупроводниковые пластины. Новая